德国 Grobenzell VSH 高真空步进电机-离心风机-风机-产品型号-北京汉达森机械技术有限公司

德国 Grobenzell VSH 高真空步进电机

品牌Grobenzell	有效期至长期有效	最后更新2025-06-25 13:56
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德国 Grobenzell VSH 高真空步进电机

自 1947 年于德国 Grobenzell 小镇创立以来，Phytron 始终秉持 “phutron a step ahead” 的创新哲学，在步进电机领域精耕细作超 70 载。作为幕后的技术巨擘，Phytron 专注于攻克极端环境下的驱动难题，产品广泛应用于工业自动化、医疗、半导体，甚至助力 “好奇号” 火星车在火星探测任务中实现激光束与相机的精准聚焦。凭借对真空兼容性、低温适应性及驱动控制智能化的系统性突破，Phytron 构建起丰富且性能卓越的产品矩阵，以满足不同行业的严苛需求。

（一）VSH 高真空步进电机

核心参数：该系列电机真空度可达 10⁻⁹ mbar，能在超高真空环境下稳定运行。例如 VSH 80.200.5 型号，采用非磁性不锈钢（如 V4A 材质）与镀金引线，将材料出气率控制在 10⁻¹² Pa・m³/s 以下，有效避免在超高真空下出现冷凝与挥发问题。通过焊接密封与迷宫式结构设计，其泄漏率较传统设计降低 99% ，确保内部精密部件不受真空环境影响。保持扭矩范围根据不同型号有所差异，可满足多种负载需求。

应用场景：在半导体蒸镀设备中，VSH 高真空步进电机成为 “标准配置”，用于精准调节靶材位置，定位精度可达 ±1μm，确保蒸镀过程的均匀性与稳定性，提高芯片制造的良品率。在电子束蒸发设备中，同样能发挥其高真空适应性与精准定位优势，助力实现高质量的薄膜制备。

（二）VSS 低温步进电机

核心参数：可在 - 196°C 至 + 85°C 的宽温度范围内稳定工作，特别针对低温环境研发了专用锂基润滑脂与柔性电缆，保障电机在 - 196°C 液氮环境下启动扭矩波动＜5% ，运行平稳。以 VSS32.200.1.2 型号为例，保持扭矩范围从 3.4 mNm 至 13 Nm（具体依型号和配置而定），电机直径涵盖 19 至 125 毫米多种规格，适配不同空间与负载要求。搭配 SinCos 编码器，可实现 ±0.001mm 的重复定位精度，满足超精密运动控制需求。同时，该系列电机具备抗辐射能力，辐射强度高达 10⁶ J/kg ，并能承受一定的冲击和振动载荷，确保在复杂环境中的可靠性。