PI A-121 带空气轴承的PIglideAT1线性平台

PI A-121 带空气轴承的PIglideAT1线性平台

高性能小落地面积纳米级定位平台

扫描应用的完美选择或精密定位

运动平台的尺寸115 毫米×115 毫米

低外形最小为60 毫米

无尘室兼容

行程达350毫米

分辨率达1纳米

产品概述

PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供最高的性能、质量和使用寿命。

高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度。带预载的空气轴承构造支持任意方向上的安装。

应用领域

PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。

附件和可选配件

编码器

PIglide过滤器和空气预处理器

多轴运动控制器和直接驱动器

XY装置和个性化配置

电缆轨道变型

用于垂直组装的平衡配件

花岗岩底座板和隔振系统

订购信息

A-121.050A1 PIglideAT1线性平台，空气轴承，50毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无 铁芯三相线性电机，48伏

A-121.050B1 PIglideAT1线性平台，空气轴承，50毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-121.100A1 PIglideAT1线性平台，空气轴承，100毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏

A-121.100B1 PIglideAT1线性平台，空气轴承，100毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-121.150A1 PIglideAT1线性平台，空气轴承，150毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏

A-121.150B1 PIglideAT1线性平台，空气轴承，150毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-121.200A1 PIglideAT1线性平台，空气轴承，200毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏

A-121.200B1 PIglideAT1线性平台，空气轴承，200毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-121.250A1 PIglideAT1线性平台，空气轴承，250毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏

A-121.250B1 PIglideAT1线性平台，空气轴承，250毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-121.350A1 PIglideAT1线性平台，空气轴承，350毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏

A-121.350B1 PIglideAT1线性平台，空气轴承，350毫米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

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