PI A-311 带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪

高性能，紧凑型XY纳米定位系统

扫描应用的完美选择或精密定位

行程达200 毫米 × 200 毫米

低外形

无尘室兼容

负载容量达147 牛

分辨率达1纳米

产品概述

带空气轴承的高精度PIglide IS XY 平面扫描仪采用扁平设计，可用于替代堆叠XY位移平台。高效、紧凑的设计安装空间有限，能够节省机械空间。

PIMag®磁力直接驱动

三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。

利用来自领先制造商的数字控制器，操作可提供高级控制算法，以改善动态性和误差补偿。

附件和可选配件

编码器

PIglide过滤器和空气预处理器

多轴运动控制器和直接驱动器

机器底座

花岗岩底座板和隔振系统

应用领域

PIglide 定位系统特别适合高精度应用，例如检测系统、激光打标、显微镜或扫描。

订购信息

A-311.AA1

PIglideISPlanarscanner，空气轴承，100毫米 × 100微米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

A-311.AB1

PIglideISPlanarscanner，空气轴承，100毫米 × 100微米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-311.BA1

PIglideISPlanarscanner，空气轴承，150毫米 × 150微米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

A-311.BB1

PIglideISPlanarscanner，空气轴承，150毫米 × 150微米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-311.CA1

PIglideISPlanarscanner，空气轴承，200毫米 × 200微米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

A-311.CB1

PIglideISPlanarscanner，空气轴承，200毫米 × 200微米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

A-311.DA1

PIglideISPlanarscanner，空气轴承，50毫米 × 50微米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

A-311.DB1

PIglideISPlanarscanner，空气轴承，50毫米 × 50微米行程，带BiSSC信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

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