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Physik Instrumente位移台应用领域

    

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品牌Physik Instrumente 有效期至长期有效 最后更新2022-05-27 13:56
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Physik Instrumente位移台应用领域

韩丽萍
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邮件:sales8@handelsen.cn
韩丽萍邮箱:sales8@handelsen.cn电话:010-64717020-175

纳米定位压电弯曲平台

微型舞台

线性平台

线性执行器

旋转台

XY平台

PI的多轴压电挠性位移台允许在多达6个轴上以亚纳米精度进行定位和扫描,包括尖端,倾斜和偏航运动。版本范围从最紧凑的立方体设计到大孔径和薄型。

XYZ扫描仪是定位技术的全方位工具。应用包括样品调整,技术,光学计量,光纤定位和光子学以及原子力显微镜。

所有压电纳米定位系统均已在工厂校准,并随测量记录一起提供。

P-733.3 XYZ压电纳米定位器

应用领域

·         扫描显微镜

·         共聚焦显微镜

·         掩膜/晶圆定位

·         表面测量技术

·         纳米压印

·         显微操作

·         图像处理/稳定

·         纳米定位具有很高的平面度和运动平直度

电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性,长期稳定性以及kHz范围内的带宽。

自动配置和快速的组件更换

机械和控制器可以根据需要进行组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时,数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

适用于复杂的真空应用

压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。无需润滑剂或油脂即可运行。不含聚合物的压电系统可实现极低的除气率。

PICMA®压电执行器,使用寿命长

获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明,没有单一故障的1000亿次循环。

零游隙挠性导轨,导向精度高

挠性导板无维护,无摩擦和无磨损,并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力,并且对冲击和振动不敏感。它们是100%真空兼容的,并且可在较宽的温度范围内工作。

平行位置测量,在纳米范围内具有很高的跟踪精度

所有的自由度均以单个固定参考为参考。可以实时(取决于带宽)主动补偿(主动引导)轴之间的不良串扰。即使在动态操作中,也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。

P-733.3CD

P-733.3CL       

P-733.3DD

应用领域:

·         六脚架支持工业机器人

·         科学仪器

·         半导体技术

·         显微镜检查

·         硅光子学

·         医疗技术

·         材料研究

·         机械工业
微信图片_20190920135320

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