德国ADL单极脉冲发生器 SD 151与直流电源结合使产生带有反向的单极脉冲

一、产品概述

单极脉冲发生器用于电弧临界和部分反应过程高质量和可复制的涂层

直流电源（HX、GX / GS）可通过接口X4P与单极脉冲发生器（SD）组合。因此，涂布设备可以使用直流或单极脉冲非常灵活地运行。在“主/从”或并联作中，多个电源的同步功率可达 240 kW。脉冲发生器的紧凑 1/2 19“ 设计使直接安装在真空室中成为可能！与所有 ADL 电源一样，脉冲系统无需维护，极少发生故障，并且后续成本极低，性价比竞争力。

二、单极脉冲发生器应用

直流+单极脉冲

ADL 单极脉冲系统是部分氧化过程溅射的选择。单极脉冲与金属靶材部分反应或与陶瓷靶材呈亚化学计量，通过极低的电弧能量，有助于避免室壁或阳极的钝化增加，从而有助于涂层过程的稳定。

直流和单极脉冲发生器的组合用于生产 OLED，或用于大平面屏幕或特殊装饰和硬涂层的 LCD。

三、产品特性

具有低导电目标的广泛溅射应用

对半氧化靶标（例如 TiOx、NbOx）具有出色的过程控制能力

对 AZO 等电弧关键靶材进行稳定加工

单极全反应涂层工艺，例如 SiO2四3O4人工智能2O3

与直流相比，涂层形貌得到改善

四、产品介绍

单极脉冲发生器 SD 151、SD 301、SD 351

高达 35 kW

与 ADL 直流电源结合使用，脉冲发生器 SD 151 / SD 301 和 SD 351 可产生带有反向脉冲的单极脉冲，以加快阴极放电速度。与反向脉冲相结合，与不带反向脉冲的脉冲发生器 （SD 150 / SD 300） 相比，极快的全自动电弧抑制可将电弧能量降低约 50%。发生器以 20 kHz 的固定频率工作。因此，使用外部信号发生器，该频率可以在 1 kHz 到 40 kHz 的范围内变化。多达八个脉冲发生器可互连，通过控制电缆进行自动同步。SD 151、SD 301 和 SD 351 中包含的新电子设备可补偿延迟时间，因此即使高压输出并联，也不需要主振荡器即可实现精确同步。

性能参数：

反向脉冲

输出功率 15 kW、30 kW、

35 kW

并联运行功率高达 280 kW

自动消弧

风冷

紧凑设计，1/2 19“ - 3HU

浮动输出