ADL GG03.1电源应用于等离子体工艺技术中

ADL 离子源电源

对于离子源（Kaufmann 和 ECR）的作，可以使用特殊电源。根据要求，这些装置还可以配备其他输出电压或输出功率。所有电源均具有 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS232/484 接口。

ADL 突出

在离子束和等离子体工艺技术中的广泛应用

蚀刻、溅射等等

ADL 创新创新应用，例如微电子、光学和传感器

ADL GG 03.1加速器   

ADL输出功率30W

ADL输出电压最大1000 V

ADL输出电流300\mA

ADL功率消耗100 VA
 

ADL指示

电流和电压的31/2位数字显示

ADL控制

电流或电压控制

ADL操作模式

通过前面板或外部控制接口手动

ADL

设定值

0...100%的额定值电流和电压

输出精度

电流或电压的标称值的+/-1%

ADL冷却系统

空气冷却

内置风扇，最大环境温度40℃

风扇噪音排放

噪音水平<70 分贝(A)

ADL机械数据

尺寸

宽度:218毫米(1/219英寸)，高度:132.5毫米(3HU)，长度560

重量(不含包装)

11千克

控制插座X3-接口AS4

这个25针Sub.-D-插座是所有信号接口，用于远程开关机、选择工作模式、

输入设定值以及监测电流、电压和功率的实际值。

ADL控制输入:

控制输入通过光耦合器或继电器(联锁和SV.-Ext.)提供，从而实现电气隔

离。为了设置一个功能，将+24V的电压施加到相应的控制输入。该电压始

终参考引脚21(数字Gnd)。如果无法获得外部的+24V控制电压，可以将

引脚21(数字GND)连接到引脚25(GND)，并将相应的输入连接到引脚

14 (+24V)。

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